Sic kiselkarbid keramiska bricka för ICP-etsning

Produktdetaljer

Waferbärarna som används i epitaxiella tillväxtprocesser utsätts för höga temperaturer och rigorös kemisk rengöring. Mascera erbjuder högrena kiselkarbidkeramiska brickplattor som ger exceptionell värmebeständighet, enhetlig värmefördelning för konsekvent episkikttjocklek och motståndskraft, samt robust kemisk resistens.

Icke-oxidkeramik, kiselkarbidkeramik (SiC) är ett superhårt material med en Moh-hårdhet upp till 9,5. Kiselkarbidkeramik har inte bara utmärkta mekaniska egenskaper vid rumstemperatur, såsom hög böjhållfasthet, utmärkt oxidationsbeständighet, god korrosionsbeständighet, hög slitstyrka och låg friktionskoefficient, utan även enastående mekaniska egenskaper (hållfasthet, kryphållfasthet) vid hög temperatur. Högtemperaturhållfastheten kan bibehållas upp till 1600 °C, vilket är bäst bland alla keramiska material. Oxidationsbeständigheten hos kiselkarbidkeramik är också den bästa bland alla icke-oxidkeramik.

Mascera producerade kiselkarbidkeramik i två former, sintrad kiselkarbid (SSiC) och reaktionsbunden kiselkarbid (SiSiC). 

Sintrad kiselkarbidkeramik tillverkas genom att använda högrena och nanokvalitetsråpulver, som sintras vid en hög temperatur från 2100 ℃ till 2200 ℃. Denna sintringsprocess leder till förtätning av den gröna kroppen och krympning på cirka 20 %. Å andra sidan använder reaktionsbunden kiselkarbid mikronstort kiselkarbidpulver och sintras vid ett temperaturintervall från 1450 ℃ till 1700 ℃. Till skillnad från sintrad kiselkarbid genomgår reaktionsbunden kiselkarbid inte formkrympning under sintringsprocessen.

Den högre sintringstemperaturen för sintrad kiselkarbid resulterar i förbättrade prestandaegenskaper, inklusive högre densitet, ökad hållfasthet och förbättrad motståndskraft mot oxidation och korrosion. För tillämpningar som inte kräver sådana högpresterande egenskaper är reaktionsbunden kiselkarbid ett mer kostnadseffektivt val.

Huvudegenskaper hos kiselkarbidkeramik

• Hög hållfasthet i hög temperatur

• Högtemperaturoxidationsbeständighet

• Utmärkt slitstyrka

• Låg termisk expansionskoefficient

• Hög värmeledningsförmåga

• Utmärkt motståndskraft mot termisk chock

• Hög hårdhet

• Lätt vikt på grund av låg densitet
  

• Bra korrosionsbeständighet

Typiska tillämpningar av kiselkarbidkeramik

• Mekaniska tätningsringar

• Kulor, säten, foder för ventil

• Ugnsmöbler

• Värmeväxlare

• Fasta och rörliga turbinkomponenter

• Slipmedia

• Komponenter för brännare

• Keramiska lager

Materialdatablad

Tillgängliga former av kiselkarbidkeramik

1. Keramisk stång / keramisk stift / keramisk kolv

2. Keramiskt rör / keramisk bussning / keramisk hylsa

3. Keramisk ring / keramisk bricka / keramisk distans 

4. Keramisk skiva

5. Keramisk platta / keramiskt block

6. Keramisk boll

7. Keramisk kolv

8. Keramisk degel

9. Andra specialanpassade keramiska delar

Packning och leverans