Sic Kiselkarbid Keramiska Brickplattor För ICP Etsning

Produktdetalj

De waferbärare som används i epitaxiella tillväxtprocesser utsätts för höga temperaturer och rigorös kemisk rengöring. Mascera erbjuder keramiska brickplattor av kiselkarbid av hög renhet som ger exceptionell värmebeständighet, enhetlig termisk fördelning för konsekvent epi-skikttjocklek och beständighet, och robust kemisk beständighet.

Icke-oxidkeramik, kiselkarbidkeramik (SiC) är ett superhårt material som har mohs hårdhet upp till 9,5. Kiselkarbidkeramik har inte bara utmärkta mekaniska egenskaper vid rumstemperatur, såsom hög böjhållfasthet, utmärkt oxidationsbeständighet, god korrosionsbeständighet, hög slitstyrka och låg friktionskoefficient, utan också enastående mekaniska egenskaper (hållfasthet, krypmotstånd) vid hög temperatur, den höga temperaturhållfastheten kan bibehållas upp till 1600°C, vilket är det bästa av alla keramiska material. Oxidationsbeständigheten hos kiselkarbidkeramik är också den bästa bland alla icke-oxidkeramer.

Mascera producerade kiselkarbidkeramik i två former, sintrad kiselkarbid (SSiC) och reaktionsbunden kiselkarbid (SiSiC). 

Sintrad kiselkarbidkeramik tillverkas genom att använda råpulver av hög renhet och nanokvalitet, som sintras vid en hög temperatur som sträcker sig från 2100 ℃ till 2200 ℃. Denna sintringsprocess leder till förtätning av den gröna kroppen och cirka 20 % krympning. Å andra sidan använder reaktionsbunden kiselkarbid kiselkarbidpulver i mikronstorlek och sintras vid ett temperaturområde på 1450℃ till 1700℃. Till skillnad från sintrad kiselkarbid genomgår reaktionsbunden kiselkarbid inte formkrympning under sintringsprocessen.

Den högre sintringstemperaturen för sintrad kiselkarbid resulterar i förbättrade prestandaegenskaper, inklusive högre densitet, ökad hållfasthet och förbättrad motståndskraft mot oxidation och korrosion. För applikationer som inte kräver sådana högpresterande egenskaper är reaktionsbunden kiselkarbid ett mer kostnadseffektivt val

Huvudegenskaper hos kiselkarbidkeramik

• Hög hållfasthet i hög temperatur

• Oxidationsbeständighet vid hög temperatur

• Utmärkt slitstyrka

• Låg termisk expansionskoefficient

• Hög värmeledningsförmåga

• Utmärkt värmechockbeständighet

• Hög hårdhet

• Låg vikt på grund av låg densitet
  

• Bra korrosionsbeständighet

Typiska tillämpningar av kiselkarbidkeramik

• Mekaniska tätningsringar

• Kulor, säten, foder för ventil

• Ugnsmöbler

• Värmeväxlare

• Fasta och rörliga turbinkomponenter

• Slipande media

• Militära skottsäkra plåtar

• Komponenter för brännare

• Keramiska lager

Materialdatablad

Tillgängliga former av kiselkarbidkeramik

1. Keramisk stav / keramisk stift / keramisk kolv

2. Keramiskt rör / keramisk bussning / keramisk hylsa

3. Keramisk ring / keramisk bricka / keramisk distans 

4. Keramisk skiva

5. Keramisk platta / keramiskt block

6. Keramisk boll

7. Keramisk kolv

8. Keramiskt munstycke

9. Keramisk degel
   

10. Andra specialanpassade keramiska delar

Packning & frakt