Keramiska ändeffektorer av aluminiumoxid för hantering av halvledarskivor

Produktdetalj

Ändeffektorer för waferhantering är installerade på waferhanteringsrobotar och ansvarar för att transportera kiselwafers till angivna positioner. Ytan på ändeffektorn kommer i direkt kontakt med skivorna. Därför måste ändeffektorn ha exakta dimensioner och termisk stabilitet, samt en slät, nötningsbeständig yta för att säkerställa att ingen partikelförorening uppstår under waferhantering.

På grund av egenskaperna hos aluminiumoxidkeramer, såsom högtemperaturbeständighet, slitstyrka, korrosionsbeständighet och låg friktionskoefficient, med en maximal driftstemperatur på upp till 1750°C, uppvisar de utmärkt termisk stabilitet och överlägsen mekanisk, elektrisk och överlägsen termiska egenskaper. Dessa egenskaper gör dem mycket lämpliga för komponenter av hög kvalitet och säkerställer att prestandakraven för ändeffektorer för waferhantering uppfylls.

Masceras keramiska ändeffektorer är tillverkade av aluminiumoxidpulver med hög renhet genom isostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbearbetning, vilket erbjuder utmärkt ytfinish och dimensionell noggrannhet för att möta användarnas anpassningsbehov.

Produktfunktioner

• Hög hårdhet och slitstyrka

• Utmärkt korrosionsbeständighet

• Goda isoleringsegenskaper även vid höga temperaturer

• Utmärkt värmebeständighet

• Överlägsen mekanisk styrka

Materialdatablad

Packning & frakt