Varför är en bornitrid keramisk degel lämplig för sintring av kiselnitrid och aluminiumnitridsubstrat
Degel är en behållare eller ett kärl som vanligtvis används i högtemperatursintrings- och smältprocesser. Den är vanligtvis gjord av högtemperaturbeständiga material som keramik, metaller och grafit. En degels huvudsakliga funktion är att innehålla och hålla material vid höga temperaturer för sintring, smältning eller andra värmebehandlingsprocesser. Valet av ett degelmaterial och storlek är avgörande, med hänsyn till faktorer som sintringstemperatur, provstorlek, termisk expansionskompatibilitet, vätbarhet och andra specifika applikationskrav.
I sintringsprocessen avaluminiumnitrid (AlN)ochkiselnitrid (Si3N4) keramiska substrat, att använda bornitrid (BN) keramik som en degel erbjuder flera fördelar:
1. Stabilitet vid hög temperatur:Den högsta sintringstemperaturen för AlN-substrat är runt 2000°C och för Si3N4-substrat är den runt 1850°C. Båda processerna involverar termisk chock vid olika temperaturintervall.BN deglartål höga temperaturer upp till 2100°C och uppvisar liknande termiska expansionskoefficienter som AlN och Si3N4, vilket säkerställer stabilitet under höga temperaturer. Detta är avgörande för sintring av högtemperaturkeramiska material som AlN och Si3N4. Bornitriddeglarkan uthärda miljön med hög temperatur och bibehålla sin strukturella integritet, vilket säkerställer stabilitet och konsistens under sintringsprocessen.
2. Låg vätbarhet:BN-keramik har låg vätbarhet, vilket innebär att smälta material är mindre benägna att spridas mycket på sin yta och istället tenderar att bilda små sfäriska former. Detta minskar kontaktytan mellan substratmaterialet ochBornitriddegel under sintring, vilket minimerar vidhäftning och svårigheter att ta bort de sintrade substraten från degeln.
3.Kemisk stabilitet: BN keramiskuppvisar hög kemisk stabilitet och reagerar inte med eller förorenar många material. Vid sintring av AlN- och Si3N4-substrat tillåter användning av BN-deglar direkt kontakt med substratmaterialet utan att införa föroreningar eller förändra substratens sammansättning och egenskaper.
4. Bra värmeledningsförmåga:BN-degeln har hög värmeledningsförmåga, vilket underlättar effektiv värmeöverföring. Detta hjälper till att uppnå enhetlig uppvärmning och temperaturfördelning under sintringsprocessen, vilket förbättrar sintringslikformighet och kvalitet. Det bidrar också till enhetligheten av substratdensitet, struktur, sammansättning och dimensionell form, vilket resulterar i förbättrad elektrisk prestanda, hållbarhet och precisionsdimensioner för AlN- och Si3N4-substrat.
Sammanfattningsvis, jämfört med andra degelmaterial, bornitrid (BN)degel erbjuder fördelarna med låg vätbarhet, kemisk stabilitet, hög temperaturstabilitet och god värmeledningsförmåga vid sintring avaluminiumnitrid(AlN) ochkiselnitrid (Si3N4)substrat. Dessa fördelar ger en pålitlig, ren och högkvalitativ sintringsmiljö, vilket säkerställer att substraten sintras under optimala förhållanden och bibehåller önskad prestanda.
