Ytslipningsteknik av DPC Keramiskt substrat
DPC keramiska substrathar tekniska fördelar såsom utmärkt värmeledningsförmåga/värmebeständighet, hög grafisk noggrannhet och vertikal sammankopplingsförmåga. De hittar breda tillämpningar inom krafthalvledarbelysning (vita lysdioder), sterilisering (djupa ultravioletta lysdioder), laser och optisk kommunikation (LD&VCSEL), termoelektrisk kylning (TEC) och andra områden.
Beredningsprocessen för DPC-keramiska substrat inkluderar huvudsakligen:
（1） Sputtering av ett metallfrölager (Ti/Cu) på den keramiska basen.
（2）Applicering av ljuskänslig torr film.
（3）Bildar mönster genom exponering och utveckling.
（4）Förtjockning av kopparskiktet med mönstergalvanisering.
（5）Ytslipning av substratet (för att kontrollera kopparskiktets tjocklek och enhetlighet).
（6）Ta bort den torra filmen, etsning av fröskiktet och slutligen ytbehandling (som kemisk silver- eller nickel-guldplätering).
Under beredningen av DPC-keramiska substrat leder ojämn fördelning av galvaniseringsström till ojämn tjocklek av kopparskiktet på substratytan (tjockleksskillnaden kan överstiga 100μm). Ytslipning är en nyckelprocess för att kontrollera tjockleken på det elektropläterade kopparskiktet och förbättra dess enhetlighet, vilket direkt påverkar prestandan hos keramiska substrat och kvaliteten på enhetens förpackning.
På grund av kopparmaterialets goda formbarhet genereras lätt plastisk deformation (repor eller kopparhud) under slipningsprocessen, vilket innebär betydande utmaningar. Det finns fyra huvudsakliga sliptekniker tillgängliga för slipning av kopparskiktet på ytan av DPC-keramiska substrat:
（1）Bandslipning:
Bandslipning är en vanlig grovslipningsteknik för metallytor. Den använder slipband på rullar för att snabbt mala prover på transportbandet, vilket resulterar i hög slipeffektivitet.
Emellertid är sliphastigheten för bandslipning betydligt högre än den för CNC-slipning och keramisk borstslipning, men ytjämnheten och tjocklekens enhetlighet är relativt dålig. Dessutom kan märkbara defekter orsakade av plastisk deformation av kopparskiktets kanter förekomma.
（2）CNC-slipning:
CNC-slipning använder huvudsakligen CNC-slipmaskiner. Till en början fästs sandpapper på slipmaskinens skärhuvud. De keramiska substraten som är fästa på plattformen slipas snabbt av det roterande skärhuvudet. CNC-slipningsprocesser är enkla och slipningen är relativt enhetlig. Det förbrukar dock en stor mängd sandpapper och kräver manuellt byte.
（3）Keramisk borstslipning:
Keramisk borstslipning använder höghastighets roterande hjulytor med keramiska/diamantkompositslipmedel för att slipa keramiska substrat som rör sig med en viss hastighet på transportbandet. Eftersom trycksensorer på rullaxeln kan styra sliptrycket och gummit fungerar som en buffert, kan keramisk borstslipning effektivt kontrollera tjockleken och likformigheten av kopparskiktet på substratytan.
（4）Kemisk mekanisk polering (CMP):
När höga ytkrav är nödvändiga för DPC-keramiska substrat är CMP den föredragna sliptekniken. För vissa optoelektroniska enheter (som laser LDs och VCSELs) som kräver ytterligare förbättring av kvaliteten på det keramiska substratets stelnade kristallregion (som kräver ytjämnhet under 0,1 μm och tjockleksavvikelse mindre än 10 μm), måste CMP användas.
På grund av den lilla partikelstorleken hos slipande partiklar i CMP-slipvätska är malningseffektiviteten låg. Därför lämpar sig CMP endast för finslipningsbehandlingar med höga krav på ytkvalitet och måste kombineras med förbearbetningstekniker som CNC-slipning och keramisk borstslipning.
XIAMEN MASCERA TECHNOLOGY CO., LTD. är en ansedd och pålitlig leverantör specialiserad på tillverkning och försäljning av tekniska keramiska delar. Vi tillhandahåller skräddarsydd produktion och högprecisionsbearbetning för en bred serie av högpresterande keramiska material inklusive aluminiumoxid keramik, zirkonium keramik, kiselnitrid, kiselkarbid, bornitrid, aluminiumnitrid och bearbetbar glaskeramik. För närvarande kan våra keramiska delar hittas i många industrier som mekanisk, kemisk, medicinsk, halvledare, fordon, elektronik, metallurgi etc. Vårt uppdrag är att tillhandahålla keramiska delar av bästa kvalitet för globala användare och det är ett stort nöje att se vår keramik delar fungerar effektivt i kundernas specifika applikationer. Vi kan samarbeta om både prototyp och massproduktion, välkommen att kontakta oss om du har önskemål.
