Tillämpning av aluminiumoxidkeramiska sluteffektorer i halvledarindustrin
På grund av den extrema känsligheten hos kiselskivor för kontaminering, utförs waferbearbetning vanligtvis i en vakuummiljö. Under sådana förhållanden är de flesta material som används för robotarmar i allmänhet olämpliga för uppgiften. Materialen som används för dessa armar måste vara mycket motståndskraftiga mot höga temperaturer, slitage och ha stor hårdhet.Aluminiumoxid keramikuppfyller dessa krav perfekt, vilket gör det till ett utmärkt material för tillverkning av robotarmar som används i halvledarutrustning.
Egenskaper hos aluminiumoxidkeramiska sluteffektorer
(1)Hög renhet
Halvledarindustrin kräver material med extremt hög renhet.Keramiska ändeffektorer av aluminiumoxidär gjorda av aluminiumoxid med hög renhet, vilket effektivt minskar risken för kontaminering, vilket säkerställer produkternas kvalitet och prestanda.
(2)Nötningsbeständighet
Under halvledartillverkning kommer sluteffektorer ofta i kontakt med olika precisionskomponenter. Slitstyrkan hos aluminiumoxidkeramik gör att ändeffektorerna kan bibehålla stabila prestanda under upprepade operationer, vilket förlänger deras livslängd.
(3)Hög temperaturbeständighet
Halvledartillverkning involverar högtemperaturmiljöer. Keramiska ändeffektorer av aluminiumoxid kan fungera stabilt under sådana förhållanden utan uppmjukning eller strukturell deformation.
(4)Kemisk korrosionsbeständighet
I processer som rengöring och etsning måste sluteffektorer tåla exponering för olika kemiska vätskor. Den kemiska korrosionsbeständigheten hos aluminiumoxidkeramik säkerställer dess stabilitet i tuffa miljöer.
(5)Elektrisk isolering
Keramiska ändeffektorer av aluminiumoxid har utmärkta elektriska isoleringsegenskaper, vilket gör dem lämpliga för processer som kräver strömisolering, vilket säkerställer säkerheten för halvledarenheter.
Tillämpningar av aluminiumoxidkeramiska sluteffektorer
(1)Waferhantering
Keramiska ändeffektorer av aluminiumoxid används för att greppa, transportera och placera wafers under wafertillverkning och testning, särskilt i hög temperatur eller korrosiva miljöer.
(2)Chip Pick-and-Place
Under chippaketering används keramiska ändeffektorer av aluminiumoxid för att plocka upp spån från wafers och placera dem på substrat eller förpackningar.
(3)Trådbindning
I trådbindningsprocessen för chipförpackningar kan aluminiumoxidkeramiska ändeffektorer användas för att exakt placera och säkra ledningar för att ansluta chipet med externa kretsar.
(4)Inspektion och sortering
Vid inspektion och sortering av halvledarenheter används keramiska ändeffektorer av aluminiumoxid för att överföra enheter från en plats till inspektionsutrustningen.
(5) Etsnings- och deponeringsutrustning
Vid underhåll och drift av halvledarutrustning används keramiska ändeffektorer av aluminiumoxid för hantering och installation av komponenter i hög temperatur eller korrosiva miljöer.
(6) Rengörings- och etsningsprocesser
Under rengörings- och etsningsprocesser för skivor kan keramiska ändeffektorer av aluminiumoxid fungera i kemiska vätskemiljöer utan skador.
Som en ledande teknisk keramiktillverkare specialiserar Xiamen Mascera Technology Co., Ltd. på anpassade keramiska sluteffektorer. De aluminiumoxidhanteringsarmar som för närvarande tillverkas är lämpliga för olika högpresterande applikationer för hantering av halvledarskivor, och deras aluminiumoxidkeramiska komponenter har fått omfattande godkännande från kunder.
XIAMEN MASCERA TECHNOLOGY CO., LTD. är en ansedd och pålitlig leverantör specialiserad på tillverkning och försäljning av tekniska keramiska delar. Vi tillhandahåller skräddarsydd produktion och högprecisionsbearbetning för en bred serie av högpresterande keramiska material inklusive aluminiumoxid keramik, zirkonium keramik, kiselnitrid, bornitrid , aluminiumnitrid och bearbetbar glaskeramik. För närvarande kan våra keramiska delar hittas i många industrier som mekanisk, kemisk, medicinsk, halvledare, fordon, elektronik, metallurgi etc. Vårt uppdrag är att tillhandahålla keramiska delar av bästa kvalitet för globala användare och det är ett stort nöje att se vår keramik delar fungerar effektivt i kundernas specifika applikationer. Vi kan samarbeta om både prototyp och massproduktion, välkommen att kontakta oss om du har önskemål.