Kiselkarbidkeramik: Precisionskomponenter nödvändiga för halvledarprocesser (del 1)
Kiselkarbid (SiC), som ett högpresterande strukturellt keramiskt material, har egenskaper som hög densitet, hög värmeledningsförmåga, hög böjhållfasthet, stor elasticitetsmodul, stark korrosionsbeständighet och hög temperaturbeständighet. Den är mindre benägen att deformeras på grund av böjpåkänning eller termisk påkänning, vilket gör den lämplig för tuffa korrosiva miljöer och miljöer med ultrahöga temperaturer som påträffas i halvledarprocesser som waferepitaxi, etsning och vidare. Följaktligen har det funnit utbredda tillämpningar i processer som slipning och polering, termiska behandlingar som epitaxi/oxidation/diffusion, litografi, avsättning, etsning och jonimplantation i halvledartillverkning.
Slipningsprocess
• Kiselkarbidslipskiva korn
SiC-slipskiva för waferslipning Efter skärning av göt till wafers uppstår ofta vassa kanter, grader, sprickor eller andra defekter. För att undvika de negativa effekterna på skivans styrka, ytfinish och kontaminering från partiklar i efterföljande processer, måste wafers slipas för att minska tjockleken, förbättra skivans yta och eliminera ytskador orsakade av trådavskärning. För närvarande är den vanligaste metoden dubbelsidig slipning med slipskivor, med ansträngningar att förbättra slipkvaliteten genom att optimera slipparametrar som skivmaterial, sliptryck och rotationshastighet.
Principen för dubbelsidig slipning
Traditionellt var slipskivor till övervägande del gjorda av gjutjärn eller kolstål, kännetecknat av korta livslängder och betydande värmeutvidgningskoefficienter. Men med utvecklingen av slitstarka SiC-keramiska material och sintringsprocesser har SiC-slipskivor gradvis ersatt gjutjärn och kolstål på grund av deras höga hårdhet, låga slitage och liknande värmeutvidgningskoefficienter som kiselskivor, vilket ger betydande fördelar, speciellt vid höghastighetsslipning och polerprocesser.
Silikonkarbidslipskiva
Värmebehandling och andra processer
• Kiselkarbidfixturer och komponenter inuti reaktionskammare
SiC-fixturer och komponenter i reaktionskammare Tillverkning av wafer involverar olika termiska processer såsom oxidation, diffusion, glödgning och legering, vilket kräver SiC-keramiska produkter för wafertransport mellan processer och komponenter inom termisk processutrustning.
Keramiska armar
Vid tillverkning av halvledarskivor är värmebehandling med hög temperatur nödvändig, ofta med hjälp av mekaniska armar för transport, hantering och positionering av halvledarskivor. Dessa armar måste ha hög mekanisk hållfasthet, korrosionsbeständighet, hög temperaturbeständighet, slitstyrka, hög hårdhet och isolering, eftersom de arbetar i rena, höghastighets- och ofta korrosiva miljöer som vakuum, höga temperaturer och reaktiva gaser . Jämfört med aluminiumoxid uppfyller SiC-keramiska armar bättre dessa krav, men deras höga kostnad och bearbetningssvårigheter har något begränsat deras tillämpningar.
Komponenter i reaktionskammare
Halvledarutrustning för termisk bearbetning inkluderar oxidationsugnar (horisontella och vertikala) och Rapid Thermal Processing (RTP) utrustning. På grund av höga driftstemperaturer kräver komponenter inuti reaktionskammarna hög prestanda. Sintrade SiC-komponenter med hög renhet, inklusive vertikala båtar, piedestaler, foderrör, innerrör och baffelplattor, är oumbärliga för termisk bearbetningsutrustning för integrerade kretsar.
Komponenter inuti reaktionskammare
Fortsättning följer....
XIAMEN MASCERA TECHNOLOGY CO., LTD. är en ansedd och pålitlig leverantör specialiserad på tillverkning och försäljning av tekniska keramiska delar. Vi tillhandahåller skräddarsydd produktion och högprecisionsbearbetning för en bred serie av högpresterande keramiska material inklusive aluminiumoxid keramik, zirkonium keramik, kiselnitrid, kiselkarbid, bornitrid, aluminiumnitrid och bearbetbar glaskeramik. För närvarande kan våra keramiska delar hittas i många industrier som mekanisk, kemisk, medicinsk, halvledare, fordon, elektronik, metallurgi etc. Vårt uppdrag är att tillhandahålla keramiska delar av bästa kvalitet för globala användare och det är ett stort nöje att se vår keramik delar fungerar effektivt i kundernas specifika applikationer. Vi kan samarbeta om både prototyp och massproduktion, välkommen att kontakta oss om du har önskemål.
